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　　超音波和其它聲波一樣，是一系列的壓力點，即一種壓縮和膨脹交替真空超音波清洗機的波。如果聲能足夠強，液體在波的膨脹階段被推開，由此產生氣泡；而在波的壓縮階段，這些氣泡就在液體中瞬間爆裂或內爆，產生一種非常有效的衝擊力，特別適用於清洗。這個過程被稱做空化作用。

　　超音波清洗正是基於空化作用，即在清洗液中無數氣泡快速形成並迅速內爆。由此產生的衝擊將浸沒在清洗液中的工件內外表面的污物剝落下來。

　　隨著超聲頻率的提高，氣泡數量增加而爆破衝擊力減弱，因此，高頻超聲特別適用於小顆粒污垢的清洗而不破環其工件表面。空化作用也促進了化學反應並加速空化作用也促進了化學反應並加速了表面膜的溶解。

　　然而只有在某區域的液體壓力低於該氣泡內氣體壓力時才會在該區域產生空化現像，故由換能器產生的超音波振幅足夠大時才能滿足這一條件。產生空化所需的最小功率被稱做空化臨界點。不同的液體存在不同的空化臨界點，故超音波能量必須超

　　過該臨界點才能達到清洗效果。也就是說只有能量超過臨界點才能產生空化泡以便進行超聲清洗。氣泡是在液體中施加高頻(超聲頻率)、高強度的聲波而產生的。，因此任何超聲清洗系統都必須三個基本組成，盛放清洗液的槽、將電能轉化為機械能的換能器以及產生高頻電信號的超音波發生器。